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激光加工是將激光束照射到工件的表面,以激光的高能量來切除、熔化材料以及改變物體表面性能。由于激光加工是無接觸式加工,工具不會與工件的表面直接磨察產生阻力,所以激光加工的速度極快、加工對象受熱影響的范圍較小而且不會產生噪音。由于激光束的能量和光束的移動速度均可調節,因此激光加工可應用到不同層面和范圍上。
目前,公認的激光加工原理是兩種:分別為激光熱加工和光化學加工(又稱冷加工)。
激光熱加工指當激光束照射到物體表面時,引起快速加熱,熱力把對象的特性改變或把物料熔解蒸發。 熱加工具有較高能量密度的激光束(它是集中的能量流),照射在被加工材料表面上,材料表面吸收激光能量,在照射區域內產生熱激發過程,從而使材料表面(或涂層)溫度上升,產生變態、熔融、燒蝕、蒸發等現象。
光化學加工指當激光束加于物體時,高密度能量光子引發或控制光化學反應的加工過程。冷加工具有很高負荷能量的(紫外)光子,能夠打斷材料(特別是有機材料)或周圍介質內的化學鍵,至使材料發生非熱過程破壞。這種冷加工在激光標記加工中具有特殊的意義,因為它不是熱燒蝕,而是不產生“熱損傷”副作用的、打斷化學鍵的冷剝離,因而對被加工表面的里層和附近區域不產生加熱或熱變形等作用。例如,電子工業中使用準分子激光器在基底材料上沉積化學物質薄膜,在半導體基片上開出狹窄的槽。
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